Курсовая на тему РАСЧЕТ ВЫСОКОВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ ИОННО - ЛУЧЕВОЙ УСТАНОВКИ ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ ‹‹ВОКАЛ››

Автор: Андрей

Тип работы: Курсовая

Предмет: Физика

Страниц: 33

Год сдачи: 2012

ВУЗ, город: НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ “МИФИ”

Выдержка

Введение. При помощи установки «ВОКАЛ» возможно облучение материалов различными пучками ионов для исследования их основных свойств и характеристик. Пучки ионов могут быть полиэнергетическими, моноэнергетическими, многокомпонентными, однокомпонентными и т. д. Для успешной работы установки необходимо выполнение следующего условия: число распыляемых атомов с единицы поверхности образца должно быть значительно больше числа атомов остаточного газа, попадающих на поверхность образца в процессе облучения. Также, должен быть известен профиль рельефа поверхности исследуемого образца. В процессе облучения, изменения профиля рельефа поверхности должны контролироваться, так как они зависят от интенсивности облучения и скорости распыления атомов с поверхности изучаемого образца. В связи с этим, к вакуумным системам ионно-лучевой установки и предъявляются определенные, достаточно жесткие, требования. В настоящее время разработано достаточное количество установок, позволяющих проводить различные работы с использованием ионно-лучевой технологии как научного, так и производственного характера. Однако значительная их часть предназначена для работы с моноэнергетическими пучками и пучками частиц какой-либо одной массы. Для реализации условий облучения образца пучками, состоящих из ионов с различными массами и энергиями применяется ионно-лучевая установка «ВОКАЛ».

Содержание

Введение 3 1. Расчет высоковакуумной системы ионно-лучевой установки «ВОКАЛ» 1.1. Общая схема установки 4 1.2. Схема вакуумной системы ионно-лучевой установки «ВОКАЛ» 5 1.2.1. Схема ускоряющей камеры 5 1.2.2. Схема камеры, разделяющей ионы по энергиям 6 1.2.3. Схема рабочей камеры 7 1.3. Основные принципы работы вакуумной системы установки 8 1.4. Методика расчетов (основные формулы, используемые в расчете 9 вакуумной системы) 7 1.5. Расчет вакуумной системы ускорителя ионов 1.5.1. Исходные данные 11 1.5.2. Предварительный расчет идеальной системы 11 1.5.3. Расчет вакуумной системы с учетом натекания из источника ионов 12 1.5.4. Выбор насосов 1.5.4.1. Выбор высоковакуумного насоса 14 1.5.4.2. Проверочный расчет 15 1.5.4.3. Выбор насоса для работы в области среднего и низкого вакуума 16 1.6. Расчет вакуумной системы рабочей камеры 1.6.1. Исходные данные 17 1.6.2. Предварительный расчет идеальной системы 17 1.6.3. Расчет вакуумной системы с учетом газоотделения с поверхности стенок камеры 18 1.6.4. Выбор насосов 1.6.4.1. Выбор высоковакуумного насоса 20 1.6.4.2. проверочный расчет 21 1.6.4.3. Выбор насоса для работы в области среднего и низкого вакуума 23 2. Конструкторская часть 2.1. Фланцевое соединение 24 2.2. Электрический ввод 27 2.3. Оптический ввод 28 2.4. Механический ввод вращения 30 Заключение 32 Литература 33

Литература

1. Л.Н. Розанов “Вакуумная техника” - М.: Высш. Шк.,1990.- 207 - 224 с. 2. Е. С. Фролов, В.Е. Минайчев “Вакуумная техника. Справочник” – М.: «Машиностроение»,1971. – 173 - 190 с. 3, Б.А.Калин, Н.В.Волков, Н.П.Волошин, М.И.Солонин «Распыление материалов под действием корпускулярного излучения» М:МИФИ 1998 г., 63стр. 4. Н.В. Волков “ Курс лекций по технике физического эксперимента” М.:МИФИ, 2001 г. 5. Интернет ресурсы: http://www.lbmvac.ru/0111-turbomolecular-nasosy.html